ALICAT 截止閥質(zhì)量流量計(jì)控制器21VS系列

產(chǎn)品特色

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 帶氣動(dòng)截止閥，泄漏率低

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力

● 可選高精度    優(yōu)于0.5%

● 高量程比 100：1

● 響應(yīng)時(shí)間快 僅需100 ms（可調(diào)）

● 內(nèi)置128種常規(guī)以及腐蝕性氣體

● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲(chǔ)20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類    內(nèi)置了128種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載"中氣體兼容表一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量       程    從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量 程  比    100:1

最大顯示流量：102.4%FS

顯 示  屏    帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-滿量程

                   高 精  度    ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

                   僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

閥門泄漏率    不超過1x10 atm scc/sec (He)

重 復(fù)  性    ± 0.2% FS

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移    0.02% FS / ℃ / Atm

響應(yīng)時(shí)間    100ms 預(yù)熱時(shí)間：<1s

標(biāo)定工況    25℃  & 100kPa 絕壓

                  20℃  & 100kPa 絕壓

                  0  ℃  & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)

工作溫度    -10 ～ +50 ?C

工作濕度    0-100%,無冷凝

標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力    1MPa 表壓

標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓    1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng)    2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓    7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流    250mA ～ 750mA

電氣接口    8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

材       質(zhì)    316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

安裝方式    對位置無要求

防護(hù)等級    IP40